蕭至忠擔任御史時，御史大夫李承嘉曾為諸御史道：“彈劾大臣不先向大夫請示，這合乎道理嗎？”眾人都不敢回答，只有蕭至忠道：“依據慣例，御史臺沒有長官。御史，是皇帝的耳目，可以各自獨立地彈劾，互相不必請示。如果彈劾要先向御史大夫請示，那麼，彈劾御史大夫又該向誰請示呢？”李承嘉大慚，無言以對。

早期事蹟
　　蕭至忠早年曾在伊闕縣、洛陽縣擔任縣尉，後改任監察御史。704年（長安四年），蕭至忠因彈劾宰相蘇味道贓貪，被越級擢升為吏部員外郎。

　　705年（神龍元年），蕭至忠因依附樑王武三思，升任御史中丞。後來，蕭至忠又彈劾祝欽明、竇希玠與李承嘉，改任吏部侍郎，仍兼御史中丞。

擔任宰相
　　707年（景龍元年），太子李重俊發動兵變，誅殺武三思，但最終兵敗被殺。宰相宗楚客趁機誣陷相王李旦也參與兵變，唐中宗便命蕭至忠審理。蕭至忠哭訴道：“此前，天后欲立相王為太子，相王數日不食，請求讓於陛下，其德行天下皆知。如今陛下貴為天子，怎麼容不下一個弟弟呢？而要信人讒言。”唐中宗這才作罷。不久，蕭至忠擔任中書侍郎、同中書門下平章事，成為宰相。

　　709年（景龍三年），蕭至忠升任侍中，監修國史，不久又改任中書令。當時，宰相宗楚客、紀處訥結黨營私，韋巨源、楊再思、李嶠只求自保，無所匡正。蕭至忠起初堅守本職，受到時人的尊重，後來也依附於韋氏，將女兒嫁給韋皇后的表弟，甚至為死去的女兒與韋后的弟弟結冥婚。

依附太平
　　710年（景雲元年），李隆基發動唐隆政變，誅殺韋皇后。不久，相王李旦繼位，是為唐睿宗，蕭至忠被貶為晉州刺史。當時，太平公主權傾朝野，蕭至忠便主動投靠太平公主。太平公主認為蕭至忠的兒子在唐隆政變中遇害，他一定會心存怨望，可以幫助自己，便把他召回京師，任命為刑部尚書、中書令，封酇國公。

　　對於蕭至忠依附太平公主的行為，很多人都進行反對。蕭至忠的妹夫華州刺史蔣欽緒曾對他道：“憑您的才學，何必擔心日後不能飛黃騰達！最好不要作非分之想，鑽營求官。”蕭至忠不聽。蔣欽緒嘆道：“蕭家九代卿族，至此一朝族滅，實在是可悲呀！”後來，蕭至忠從公主府中出來，恰巧遇到宋璟。宋璟道：“這不是我對您所期望的。”蕭至忠訕笑道：“宋生說得很對！”說完便催馬離去。

政變伏誅
　　712年（先天元年），唐睿宗禪位於太子李隆基，是為唐玄宗。713年（開元元年），太平公主與蕭至忠、竇懷貞、岑羲、崔湜、薛稷等人密謀廢立，決定在七月四日發動兵變，由常元楷、李慈率羽林軍闖入武德殿，蕭至忠則與竇懷貞、岑羲在南衙舉兵響應。不料唐玄宗提前得知訊息，搶先平息兵變。蕭至忠逃入南山，數日後被捕伏誅，家財也被抄沒。

　　蕭至忠雖因謀反被殺，唐玄宗對他仍很欣賞。後來，唐玄宗任命源乾曜為宰相，對高力士道：“你知道我為什麼提拔源乾曜嗎？我覺得他很像蕭至忠。”高力士問道：“蕭至忠不是辜負了陛下嗎？”唐玄宗道：“蕭至忠是治國之才，只是晚年做了錯事而已，他起初不是非常賢能嗎？”